B1500A Agilent Semiconductor Device Analizador de parámetros/Sistema de caracterización de semiconductores Mainframe

Descripción general y características

El analizador de dispositivos semiconductores Keysight B1500A (Agilent) es un instrumento modular con una configuración de diez ranuras que admite mediciones IV y CV y ​​también pulsaciones rápidas de alto voltaje. Su familiar interfaz de usuario de Microsoft ® Windows ® es compatible con el software EasyEXPERT de Agilent, que proporciona un nuevo enfoque orientado a tareas más intuitivo para la caracterización de dispositivos. Debido a sus capacidades de medición de capacitancia integrada, voltaje y corriente extremadamente baja, Keysight B1500A (Agilent) se puede utilizar para una amplia gama de necesidades de caracterización de dispositivos semiconductores (IC-CAP es compatible con B1500A). También es una solución excelente para la caracterización de celdas de memoria no volátil y la caracterización de dispositivos de alta velocidad (incluida la medición avanzada de NBTI).

 

Las características y ventajas de Keysight B1500A (Agilent) incluyen:

● Rendimiento de medición IV superior: {{0}}.1 fA / resolución de medición de 0,5 µV

● Las funciones de medición incluyen barrido de canal único y multicanal, muestreo de tiempo, barrido de lista, CV casi estático (usando las SMU), control directo y GUI de generación de forma de onda lineal arbitraria (ALWG) para las HV-SPGU.

● El módulo de capacitancia integrado opcional admite mediciones de CV de hasta 5 MHz

● Soluciones opcionales de conmutación CV-IV basadas en posicionadores disponibles con resolución de medición de voltaje de 0.5 µV y capacidad de resolución de medición de corriente de 10 fA, 1 fA o 0.1 fA

● Fácil automatización de pruebas con controladores de sonda de obleas semiautomáticos integrados y secuenciación de pruebas sin programación a través del modo de prueba rápida

● Unidad generadora de pulsos de semiconductores de alto voltaje opcional (HV-SPGU) disponible con anchos de pulso programables de 10 ns y salida de más /- 40 V (80 V pico a pico).

● Generador de forma de onda/unidad de medición rápida (WGFMU) opcional disponible con ALWG y capacidades de medición de voltaje o corriente rápida.

● La solución IV pulsada de 10 ns está disponible para caracterizar transistores SOI (silicio sobre aislante) y dieléctricos de compuerta de alta k.

● Un modo de prueba clásico está disponible para proporcionar la apariencia y la terminología de la interfaz 4155/4156 mientras mejora la interacción del usuario aprovechando al máximo las características de la GUI de Microsoft® Windows®.

Las especificaciones clave del analizador de dispositivos semiconductores Keysight B1500A (Agilent) incluyen:

● Características generales

o Instrumento basado en PC con sistema operativo Windows ® XP Professional

o Solución de caja única para medición de corriente-voltaje (IV), capacitancia-voltaje (CV), generación de pulsos, IV rápido y dominio del tiempo.

o Diez ranuras de módulos para unidades de monitor de origen (SMU) y otros tipos de módulos (MFCMU, HV-SPGU y WGFMU) *

o Análisis de datos fuera de línea y desarrollo de pruebas de aplicaciones a través del software Desktop EasyEXPERT

● Capacidades de medición

o Admite la medición de corriente-voltaje (IV) a 0.1fA y 0.5µV

o Admite la medición de voltaje de capacitancia (CV) tanto cuasiestática como de frecuencia media]

o Admite mediciones IV rápidas y precisas y en el dominio del tiempo para una amplia gama de aplicaciones, como mediciones IV pulsadas, NBTI y RTS.

o Admite la generación de pulsos de alto voltaje (hasta ±40 V) para pruebas de dispositivos de memoria y alta potencia.

 

Guía de selección de módulos:

Módulo principal	Tragamonedas	Especificación
B1510A HPSMU	2	Hasta 200V, 1A de fuerza. resolución actual 10fA
B1511A MPSMU	1	Hasta 100 V, fuerza de 100 mA, resolución de corriente de 10 fA
B1517A HRSMU	1	Hasta 100 V, fuerza de 100 mA, resolución de corriente de 1 fA
fuente de alimentación E5288A	N / A	Hasta 100V, 100mA de fuerza, 100aA de resolución de corriente
B1520A MFCMU	1	1kHz a 5MHz, polarización de hasta 100V CC con SMU
B1525A HV-SPGU	1	Ancho de pulso mínimo de 12,5 ns, tiempo de transición de 10 ns, hasta 40 V con pu de 3 niveles
B1530A WGFMU	1	Ancho de pulso mínimo de 100 ns, salida de pico a pico de 10 V, velocidad de muestreo de medición de corriente o voltaje de 5 ns

 

 

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